Разработка на кислородна инсталация на VPSA

През 1891 г. немската компания Linde започва работа по втечняване на въздуха в лабораторията на компанията за производство на хладилни машини.
През 1895 г. професор Линде прави първото устройство с течен въздух, използвайки ефекта на Джаул-Томсън.
През 1901 г. Linde създава завод за производство на криогенно оборудване в Мюнхен.
През 1902 г. е завършено оборудването за разделяне на въздуха за първата едностепенна ректификационна кула, проектирана от Linde. French Kraut изобретява машината за разширяване и създава компанията Air Liquefaction в Париж.
През 1903 г. Linde прави първия промишлен генератор на кислород от 10 m3/h, използвайки процес на дроселиране при високо налягане.
През 1910 г. Франция прави първия кислороден генератор с 50 m3/h, използвайки процес със средно налягане с бутална разширителна машина.
През 1920 г. Hyland, Германия, изобретява процес с високо налягане за производство на течен кислород с машина за разширение под високо налягане.
През 1924 г. Франкел предложи в голямо оборудване за разделяне на въздуха да се използват охладители, пълни с метал, вместо обикновени топлообменници.
През 1926 г. Франкел предлага обикновения студен акумулатор.
През 1930 г. Linde прави първия промишлен агрегат Linde Frankel с мощност от 255 m3/h и чистота от 99,5 процента O2.
През 1932 г. турборазширителят е използван за първи път на агрегата Linde-Frankel. Кислородът е използван за първи път в металургията и синтеза на амоняк в Германия.
През 1939 г. Съветският съюз създава високоефективен турборазширител и започва да изучава пълното оборудване за разделяне на въздуха с ниско налягане.
През 1947 г. Linde се посвещава на оборудването за промишлено производство на кислород с пълно дънно налягане. Съветският съюз започна да проектира големи промишлени кислородни инсталации с изцяло процеси с ниско налягане.
През 1949 г. Съединените щати за първи път в 29000m3/h кислороден генератор за прилагане на топлообменник за изкривяване на плочи.
През 1952 г. Австрия за първи път използва преобразувател с продухване отгоре с чист кислород за производство на стомана, което доведе до рязко увеличение на металургичния кислород.
През 1955 г. Съединените щати усилено разработват ракети и консумират голямо количество течен кислород като ускорител.
През 1957 г. е направен първият автоматично работещ генератор на кислород от 120 тона/ден.
През 1960 г. Япония завърши 10000m3/h99,6 процента O2 и 10000m3/h99,99 процента N2 двойно широкомащабно оборудване с висока чистота и пълно ниско напрежение.
През 1972 г. Франция направи най-големия в света капацитет на оборудване за отделяне на въздух с чист кислород: 1700 тона/ден O2 и 1500 тона/ден N2.
По-големите единици все още се проучват.