PSA кислороден генератор за полупроводник

Защо полупроводниковата индустрия се нуждае от PSA кислородни генератори?

 

Доставка на газ с висока чист:Производството на полупроводници има строги изисквания относно чистотата на газа, а кислородът с висока чистота е незаменим за литография, почистване и други връзки. С помощта на технологията за адсорбция на замах на налягането, генераторът на кислород PSA произвежда кислород с чистота от 95%± 3%, което отговаря на изискванията за образуване на оксиден слой и почистване на вафли и избягва риска от замърсяване на примесите на традиционния газов цилиндър за снабдяване с кислород.
Осигурете стабилност на процеса:Полупроводниковите производствени линии изискват непрекъснато и стабилно снабдяване с газ. PSA кислородно генератор използва двойни адсорбционни кули, за да работи алтернативно и чрез PLC интелигентен контрол може да постигне 24- час непрекъснато снабдяване с кислород, да избягва прекъсванията на производството, причинени от ръчно подмяна на бутилката, и се адаптира към процеси, чувствителни към налягане на въздуха, като налягане на тънкото отлагане на филма.
Намалете разходите и оптимизирайте пространството:В сравнение с резервоарите за съхранение на течен кислород и газови цилиндри с високо налягане, PSA кислородни генератори произвеждат кислород на място, като значително намаляват разходите за транспортиране и съхранение. Той има малък отпечатък и поддържа модулно разширяване, което отговаря на нуждите на максимално използване на пространството в чисти работилници на полупроводникови фабрики. Цената на дългосрочната употреба е с около 20% по-ниска от традиционния метод.
Адаптирайте се към специални процеси:В напредналите процеси някои специални процеси изискват прецизен контрол на концентрацията на кислород. PSA кислородният генератор може гъвкаво да регулира чистотата на изхода на кислорода (95%-99. 9%), като коригира съотношението на адсорбционното налягане и молекулярното сито, за да отговори на специалните изисквания на процеса на производството на 3D NAND Flash Memory.
Екологично чист и лесен за поддържане:PSA технологията не изисква химически реагенти, а процесът на производство на кислород не отделя вредни вещества, които отговарят на стандартите за опазване на околната среда на полупроводниковата индустрия. Оборудването използва неръждаема стомана от хранителни стоки и самопочистващи се молекулярни сита, с цикъл на поддържане до 3-5 години и е подходящо за производствена среда за производство на вафли с високо чистене.
 

Безплатна консултация

 

PSA кислородни видове растения

Модулно оборудване

 

Оборудване на Twin Tower

 

Контейнерно оборудване

 

1. Колко висока може да бъде чистотата на кислорода и отговаря ли на изискванията за производство на полупроводници?
Нашият PSA кислороден генератор за полупроводници може рутинно да произвежда кислород с чистота 95%± 3%. За някои процеси, които изискват изключително висока чистота на кислорода, чрез регулиране на параметрите на оборудването, чистотата на изхода на кислорода може да бъде гъвкаво контролирана в рамките на 95% - 99. 9%, като напълно отговарят на строгите изисквания за чистота на газа в основните връзки като полупроводник литография, почистване и оксидация.

2. Колко стабилно е оборудването и може ли да гарантира непрекъснатата работа на производствената линия на полупроводниците?
Оборудването приема двойна адсорбционна кула, променлива работен режим, комбинирана с PLC интелигентна система за управление, за да се постигне 24- час непрекъснато и стабилно снабдяване с кислород. Този автоматизиран режим на работа избягва прекъсванията на доставките на газ, причинени от подмяна на ръчна бутилка, осигурява надеждно и стабилно снабдяване с газ за процеси като отлагане на тънък филм и офорт, които са чувствителни към налягането на въздуха и ефективно намаляват риска от прекъсвания на производството, причинени от проблеми с доставките на газ.

3. В сравнение с традиционните методи за доставка на кислород, каква е цената на употребата?
В сравнение с резервоарите за съхранение на течен кислород или газови цилиндри с високо налягане, нашият PSA кислороден генератор приема режим на производство на кислород на място, който значително спестява разходите за транспортиране и съхранение на кислород. Оборудването заема малка площ и може да бъде разширено модулно, намалявайки разходите за наем на площадки. В дългосрочен план разходите са с около 20% по -ниска от традиционния метод за доставка на кислород, което значително спестява оперативни разходи.

4. Сложба ли е поддръжката на оборудването? Колко време е цикълът на поддръжка?
Оборудването е лесно за поддържане, използвайки неръждаема стомана от храни и самопочистване на молекулярни сита, което значително намалява натоварването на поддръжката. При нормални обстоятелства цикълът на поддръжка е толкова дълго, колкото 3-5 години и ние сме оборудвани с професионален екип след продажбата, за да осигурим техническа поддръжка по всяко време, за да ви помогнем да решите проблеми по време на работата на оборудването.

Популярни тагове: PSA кислороден генератор за полупроводник, Китай PSA кислороден генератор за полупроводници, доставчици, фабрика, PSA кислородно растение